[发明专利]一种PERC太阳能电池结构及其制备工艺

摘要

本发明公开了一种PERC太阳能电池结构及其制备工艺。它包括电池片本体，所述电池片本体的正面依次沉积/生长有SiO₂层、减反层和AlOx层，所述电池片本体的背面依次沉积有AlOx层和SiNx层；在PERC电池常规制备工艺的基础上，增加了表面氧化掺杂工艺；同时，对PERC电池工艺的调整；还采用了独特的表面钝化层沉积工艺。本发明的有益效果是：通过氧化过程中的有效掺杂，提高电池表面的杂质浓度，改善电池的FF，弥补由于背面局部接触导致的FF恶化；同时，通过对PERC电池工艺的调整，解决掺杂工艺导致的边缘漏电问题，从而简化工艺过程；不仅提高了电池的转换效率，而且为PERC电池后续的光致恢复工艺提供了更好的氢化效果，从而实现抗LID。

主权项

1.一种PERC太阳能电池结构的制备工艺，其特征是， 所述PERC太阳能电池结构的制备工艺包括如下步骤：(1)硅片在碱性或者酸性溶液中制绒后，清洗，烘干，绒面尺寸控制在5um以内；(2)扩散炉中进行高温磷扩散，扩散方阻在60‑120Ω/口之间，表面浓度在1019‑1022atom/cm3之间，结深控制在200‑800nm之间，进行湿法刻蚀和清洗；(3)扩散炉中进行氧化掺杂，氧化温度在600‑900℃之间，时间在10‑60min，同时通入POCl3进行掺杂，控制表面浓度，掺入杂质类型与发射结相同，掺杂温度在600‑900℃之间，时间为60‑300s之间，掺杂后表面浓度控制在1020‑1022atom/cm3之间，结深控制在300‑900nm之间；(4)正面镀膜：通过PECVD沉积减反层，并控制折射率和膜厚；(5)背面刻蚀和清洗，去除氧化掺杂过程中引入的边结/背结，同时清洗背面；(6)双面同时沉积AlOx层，折射率1.6‑1.65，膜厚3‑30nm；(7)退火，背面SiNx层沉积，折射率1.9‑2.4，膜厚80‑200nm；(8)激光开窗，制备背面局部接触图案；(9)丝网印刷及高温烧结。