[发明专利]与外涂布光致抗蚀剂一起使用的涂料组合物有效
| 申请号： | 201611015528.1 | 申请日： | 2016-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN106814543B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 沈载桓;赵廷奎;E·曹;李惠元;朴琎洪;E·H·柳;林载峰 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;C09D133/14;C08F8/14;C08F120/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在一个优选方面，提供了有机涂料组合物，特别是与外涂布光致抗蚀剂一起使用的抗反射涂料组合物，所述组合物包含1)一个或多个缩水甘油基；和2)一个或多个芳香族基，每个芳香族基包含两个或更多个包含羟基、硫醇和/或胺部分的取代基。还提供了含儿茶酚聚合物及其制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 外涂布光致抗蚀剂 一起 使用 涂料 组合 | ||
【主权项】：
一种形成光致抗蚀剂浮雕图像的方法，其包含：a)在衬底上涂覆涂料组合物层，所述涂料组合物包含一种或多种材料，所述一种或多种材料包含：1)一个或多个缩水甘油基；2)一个或多个芳香族基，每个芳香族基包含两个或更多个包含羟基、硫醇和/或胺部分的取代基；以及b)将光致抗蚀剂组合物层涂覆在所述涂料组合物层上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗门哈斯电子材料韩国有限公司，未经罗门哈斯电子材料韩国有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611015528.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种烧蚀胶片及其应用
- 下一篇：一种摄像头透镜的生产工艺
