[发明专利]一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构

摘要

本发明公开了一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，包括推舟及设于推舟上的一对推舟杆组件，各所述推舟杆组件远离所述推舟的一端设有旋转式拉舟块，所述推舟上设有用于驱动旋转式拉舟块转动的驱动组件，所述驱动组件与所述推舟杆组件连接，本发明具有结构简单、能够顺利进入石墨舟底部并可靠拉舟等优点。

主权项

1.一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，包括推舟（300）及设于推舟（300）上的一对推舟杆组件（1），其特征在于：各所述推舟杆组件（1）远离所述推舟（300）的一端设有旋转式拉舟块（2），所述推舟（300）上设有用于驱动旋转式拉舟块（2）转动的驱动组件（3），所述驱动组件（3）与所述推舟杆组件（1）连接，所述推舟杆组件（1）包括推舟管（11）及旋转杆（12），所述推舟管（11）固设于所述推舟（300）上，所述旋转杆（12）穿过所述推舟管（11），所述旋转式拉舟块（2）设于所述旋转杆（12）远离所述推舟（300）的一端，所述驱动组件（3）与所述旋转杆（12）的另一端连接，所述驱动组件（3）包括驱动缸（31）、一对连杆（32）及一对转盘（33），所述驱动缸（31）装设于所述推舟（300）上且推杆与一对连杆（32）的一端铰接，一对连杆（32）的另一端分别与一个转盘（33）铰接，一对转盘（33）与一对旋转杆（12）一一对应连接。