[发明专利]与外涂布光致抗蚀剂一起使用的涂料组合物有效
| 申请号： | 201610996096.0 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106647170B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | E-H·柳;朴琎洪;Y·R·申;J-H·康;李晶真;林载峰 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;C09D5/00;C09D167/00;C08J3/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供有机涂料组合物，确切地说与外涂布光致抗蚀剂一起使用的抗反射涂层组合物，其在第一方面中包含含下式(I)结构的交联剂组分： |
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| 搜索关键词： | 外涂布光致抗蚀剂 一起 使用 涂料 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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