[发明专利]感测元件及其形成方法有效
| 申请号： | 201610988314.6 | 申请日： | 2016-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN108072683B | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 冉晓雯;蔡娟娟;张柏懿;刘洪铨;周宜霆;陈蔚宗 | 申请（专利权）人： | 元太科技工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04;G01N27/327 |
| 代理公司： | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 | 代理人： | 王正茂;丛芳 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种感测元件及其形成方法，其中感测元件包含多个第一导电纳米结构、导电层以及至少一个电极。导电层覆盖这些第一导电纳米结构。导电层的材料熔点高于这些第一导电纳米结构的材料熔点。导电层与这些第一导电纳米结构的其中至少一个是对气体敏感的。电极电性连接这些第一导电纳米结构与导电层的其中至少一个。当导电纳米结构与导电层经过加热处理时，导电层可保护导电纳米材料免于因为加热处理而熔化，也可助于满足气体感测器的高温操作需求。 | ||
| 搜索关键词： | 元件 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种感测元件，其特征在于，包含：多个第一导电纳米结构；导电层，覆盖所述多个第一导电纳米结构，所述导电层的材料熔点高于所述多个第一导电纳米结构的材料熔点，所述导电层与所述多个第一导电纳米结构的其中至少一个是对气体敏感的；以及至少一个电极，电性连接所述多个第一导电纳米结构与所述导电层的其中至少一个。
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