[发明专利]溶存臭氧去除单元、基板处理装置、溶存臭氧去除方法及基板清洗方法在审
| 申请号： | 201610975795.7 | 申请日： | 2016-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN106606890A | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 方炳善;尹遵喜;权吉圣 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | B01D19/00 | 分类号： | B01D19/00;C02F1/20;B08B11/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京度衡知识产权代理有限公司11601 | 代理人： | 杨黎峰,钟锦舜 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种溶存臭氧去除单元，所述溶存臭氧去除单元从液体中去除溶存臭氧；用于处理基板的装置；去除溶存臭氧的方法；和清洗基板的方法。去除液体中溶存臭氧的方法包括向所述液体供应微气泡；和利用能量或自由基离子使得溶存臭氧脱离所述液体，其中，所述能量或自由基离子是在所述微气泡溶解在所述液体中时所产生的。 | ||
| 搜索关键词： | 臭氧 去除 单元 处理 装置 方法 清洗 | ||
【主权项】：
一种去除液体中的溶存臭氧的方法，所述方法包括：向液体供应微气泡；和利用能量或自由基离子使得溶存臭氧脱离所述液体，其中，所述能量或自由基离子是在所述微气泡溶解在所述液体中时所产生的。
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