[发明专利]一种半导体芯片晶圆片号校验方法有效
| 申请号： | 201610969557.5 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106526444B | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 邵嘉阳;祁建华;牛勇;王锦;郝丹丹;叶建明 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种半导体芯片晶圆片号校验方法，包括：探针台发送晶圆校验开始信号给工作站；探针台根据请求向工作站发送原始晶圆片号、原始晶圆批号和原始晶圆片槽位置号；获取晶圆片号和晶圆批号的分解规则；将原始晶圆片号分解成校验晶圆批号、校验晶圆片槽位置号和总和检验码；将原始晶圆批号分解成分解晶圆批号和子批号；将分解晶圆批号和校验晶圆批号进行对比，同时将原始晶圆片槽位置号和校验晶圆片槽位置号进行对比，如果有任何一个对比结果不匹配，则停止测试并报警，等待操作人员检查确认。本发明通过晶圆批号、晶圆片槽位置号、晶圆片号之间的关系，判断这三个信息是否正确，最大可能的减少晶圆片号读取错误问题。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆片 晶圆 校验 槽位置 分解 半导体芯片 探针台 工作站 读取 发送 错误问题 对比结果 开始信号 人员检查 停止测试 最大可能 检验码 匹配 报警 | ||
【主权项】：
1.一种半导体芯片晶圆片号校验方法，其特征在于，包括下列步骤：通过探针台发送晶圆校验开始信号给工作站；所述探针台根据工作站的请求，向工作站发送原始晶圆片号、原始晶圆批号和原始晶圆片槽位置号信息；通过工作站获取原始晶圆片号和原始晶圆批号的分解规则；根据分解规则将原始晶圆片号分解成校验晶圆批号、校验晶圆片槽位置号和总和检验码；根据分解规则将原始晶圆批号分解成不带子批号的分解晶圆批号和子批号两部分；将所述分解晶圆批号和校验晶圆批号进行对比，同时将原始晶圆片槽位置号和校验晶圆片槽位置号进行对比，如果有任何一个对比结果不匹配，则停止测试并报警，等待操作人员检查确认。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华岭集成电路技术股份有限公司，未经上海华岭集成电路技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610969557.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：多舱位环境舱
- 下一篇：高阻燃耐火全干式光缆
