[发明专利]射频阻抗匹配方法、匹配器和半导体处理装置有效
| 申请号： | 201610969137.7 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN108012401B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王东 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京正和明知识产权代理事务所(普通合伙) 11845 | 代理人： | 冯志慧 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种射频阻抗匹配方法、匹配器和半导体处理装置。该匹配方法包括：检测匹配器的当前输入阻抗；用当前输入阻抗的共轭匹配阻抗代替射频电源的输出阻抗，计算当前输出阻抗；与当前输出阻抗共轭匹配的阻抗为负载阻抗；计算当负载阻抗与射频电源的实际输出阻抗相匹配时，匹配器中可变电抗元件的新的位置值。该匹配方法通过在匹配过程中用当前输入阻抗的共轭匹配阻抗代替射频电源的输出阻抗，从而最终计算出射频电源的输出阻抗与负载阻抗达到匹配时的匹配器中可变电抗元件的位置值，仅通过一次运算和调整，就能使负载阻抗与射频电源的输出阻抗进入相匹配的状态，该匹配方法的匹配路径直接，不存在匹配路径优化的问题；而且匹配速度快。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 阻抗匹配 方法 配器 半导体 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种射频阻抗匹配方法，其特征在于，包括：检测匹配器的当前输入阻抗；用所述当前输入阻抗的共轭匹配阻抗代替射频电源的输出阻抗，计算所述匹配器的当前输出阻抗；与所述当前输出阻抗共轭匹配的阻抗为负载阻抗；计算当所述负载阻抗与所述射频电源的实际输出阻抗匹配时，所述匹配器中可变电抗元件的新的位置值；将所述匹配器中所述可变电抗元件的当前值调整为所述新的位置值。
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