[发明专利]一种酰基硫脲咪唑啉缓蚀剂及其制备方法

摘要

本发明公开了一种酰基硫脲咪唑啉类缓蚀剂及其制备方法。本发明酰基硫脲咪唑啉的结构式如下：其中：R1，R2相同或不同，且分别、单独或共同为具有1～20个C原子的直链或支链烃基、芳基、环烷基；n为1～8之间的整数。本发明酰基硫脲咪唑啉类缓蚀剂的制备方法包括：以有机酸和有机胺为反应原料，经两步脱水，合成咪唑啉中间体，再与硫氰酸盐、酰氯反应制备酰基硫脲咪唑啉缓蚀剂。本发明的优点在于将硫脲基团引入咪唑啉分子结构中，形成酰基硫脲咪唑啉缓蚀剂，形成分子内的协同作用，结构中同时含O、S、N，可提升缓蚀剂的缓蚀性能。

主权项

1.一种酰基硫脲咪唑啉类缓蚀剂，其特征在于，所述酰基硫脲咪唑啉的结构式如下：其中：所述R₁为‑C₁₅H₃₁，十七碳‑9‑烯基，顺二十一碳‑13‑烯基；R₂为具有1～20个C原子的直链或支链烃基，或‑Ph、2‑吡啶基；n为1或2。