[发明专利]退火设备及其退火工艺

摘要

本发明公开了一种退火设备及其退火工艺，包括加热保护元件、内部开有凹槽的上保温腔体和下保温腔体以及升降移动机构；升降移动机构包括竖直升降杆、水平移动带和底座，其中，竖直升降杆一侧连接上保温腔体和下保温腔体，上保温腔体和下保温腔体可沿竖直升降杆上下移动；水平移动带上配有基座，水平移动带通过支撑座固定设置在底座上，水平移动带带动固定加热保护元件的基座左右移动。采用本发明的退火设备操作方便、降温均匀；退火过程中，进行降温的加热保护元件通过吊装从基座上移走的同时，迅速装入下一个装有单晶棒的加热保护元件进行退火，实现连续快速生产，节省能耗和时间。

主权项

1.一种退火设备，其特征在于：包括加热保护元件、保温腔体和升降移动机构，其中：所述加热保护元件一端连接真空系统，另一端连接压力系统；所述保温腔体包括上保温腔体和下保温腔体,上保温腔体和下保温腔体的内部开有凹槽，用于套紧所述加热保护元件，其中，所述上保温腔体和下保温腔体的结构由内到外包括：氧化铝保温层，冷却水层和双层莫来石外壁层，其中，所述氧化铝保温层内镶嵌卤素加热管；所述升降移动机构包括竖直升降杆、水平移动带和底座，其中：竖直升降杆的底部垂直固定在底座上，竖直升降杆连接上保温腔体和下保温腔体，其设置在上保温腔体和下保温腔体的一侧，所述竖直升降杆上安装有气缸，控制上保温腔体和下保温腔体沿竖直升降杆上下移动，从而控制保温腔体的开合，以完成加热保护元件的降温和升温；水平移动带为两条，分别设置在保温腔体的前端和后端，所述水平移动带的两端通过支撑座固定在底座上，水平移动带上配有基座，用于固定加热保护元件，水平移动带带动基座左右移动，从而将加热保护元件移出和装入所述保温腔体。