[发明专利]气悬浮系统的多气足过定位水平共面调节方法

摘要

气悬浮系统的多气足过定位水平共面调节方法，属于多气足共面调节技术领域。本发明是为了解决多气足支撑的气悬浮系统由于过定位问题，使设备的水平调节与多气足的共面调节相互耦合，调节难度大的问题。它采用三气足支撑调水平度、多气足悬空调共面的方式，使水平度调节和共面调节解耦，实现水平度和共面的快速调节；本发明首先建立多气足共面和设备基座水平度的初步基准；在气足非承载状态下调节气足共面，使所有气足都处于悬空状态；再通过安装辅助支撑，使每个气足与气浮平台之间的间隙为预设高度值；最后使三个辅助支撑脱离设备底座，给所有气足供气并浮起，完成水平共面调节。本发明用于多气足的水平共面调节。

主权项

1.一种气悬浮系统的多气足过定位水平共面调节方法，所述气悬浮系统包括设备底座(1)、N个气足(2)和悬浮机构(3)，悬浮机构(3)设置在设备底座(1)上表面上，设备底座(1)下表面通过连接螺杆与气足(2)连接；其中N为大于3的整数；其特征在于，所述调节方法包括以下步骤：步骤一：将所有气足(2)调节至最靠近设备底座(1)的位置；选取N个气足(2)之中的气足F1、气足F2和气足F3作为支撑气足，三个支撑气足首尾连接形成的三角形包络悬浮机构(3)在设备底座(1)上的投影质心；调节三个支撑气足的高度，使其它气足悬空；并通过调节三个支撑气足的高度，使设备底座(1)的水平度满足预设水平度值；步骤二：选取设备底座(1)边缘的支撑位置S1、支撑位置S2和支撑位置S3，该三个支撑位置首尾连接形成的三角形包络悬浮机构(3)在设备底座(1)上的投影质心；在三个支撑位置分别安装辅助支撑(5)，调节三个辅助支撑(5)的高度，使三个支撑气足升高至与气浮平台的间隙为预设高度值；再调节其它气足，使每个气足与气浮平台之间的间隙为所述预设高度值；步骤三：缓慢同步降低三个辅助支撑(5)的高度直至脱离设备底座(1)，然后给所有气足(2)供气，并确认所有气足浮起，然后复核设备底座(1)的水平度是否满足预设水平度值，如果是，则完成水平共面调节。