[发明专利]一种机械手有效
| 申请号： | 201610883979.0 | 申请日： | 2016-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN107914282B | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 王良杰 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/08 | 分类号： | B25J15/08 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;汪源 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种机械手，属于半导体制备技术领域，其可解决现有的机械手指的预热时间过长的问题。本发明的机械手，包括机械手指，所述机械手指用于传输待加工工件，所述机械手指还包括加热件；所述加热件用于预热所述机械手指。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械手 | ||
【主权项】：
一种机械手，包括机械手指，所述机械手指用于传输待加工工件，其特征在于，所述机械手指包括加热件；所述加热件用于预热所述机械手指。
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