[发明专利]一种氧化锌基陶瓷溅射靶材及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201610880632.0 | 申请日： | 2016-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN106676487B | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 杨晔;兰品军;宋伟杰;朱永明 | 申请（专利权）人： | 宁波森利电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 马莉华;马思敏 |
| 地址： | 315176 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氧化锌基陶瓷溅射靶材及其制备方法和应用。具体地，本发明公开了一种氧化锌基靶材的制备方法，所述制备方法采用高浓度掺杂的氧化锌纳米粉体与纯氧化锌纳米粉体作为原料，可以实现极低含量的掺杂元素在所得靶材中的均匀分布，并且由于原料均为纳米级，因而可在较低的烧结温度下烧结制得晶粒尺寸小且致密度高的氧化锌基靶材。本发明还公开了所述氧化锌基靶材及其应用。所述制备方法具有工艺简单、成本低、安全环保、可大规模推广的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 陶瓷 溅射 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种氧化锌基靶材的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：1)提供一混合浆料，所述混合浆料包含掺杂的氧化锌纳米粉体、纯氧化锌纳米粉体和任选的分散剂溶液；2)将所述混合浆料压制成型，得到陶瓷坯体；3)烧结处理所述陶瓷坯体，得到所述氧化锌基靶材；其中，所述掺杂的氧化锌纳米粉体和纯氧化锌纳米粉体的质量比为0.01‑20：80‑99.99。
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