[发明专利]抗蚀层的薄膜化装置

摘要

抗蚀层的薄膜化装置，胶束除去处理单元具有pH传感器及酸性溶液添加用泵，该pH传感器设置于能监视胶束除去液的pH的位置，酸性溶液添加用泵设置在能在胶束除去液的pH上升时将酸性溶液添加到胶束除去液中的位置，酸性溶液添加用泵在胶束除去液的实际pH值pH‑M为pH‑A以上时将酸性溶液添加到胶束除去液中，pH‑M时的酸性溶液添加用泵的实际输出OP‑M由pH‑A时的酸性溶液添加用泵的输出OP‑A与胶束除去液的pH的控制目标pH‑B时的酸性溶液添加用泵的输出OP‑B之间的比例控制确定，OP‑M相对于酸性溶液添加用泵的最大输出OP‑X为10%以上50%以下，pH‑ApH‑B，OP‑A≤OP‑M≤OP‑B。

主权项

一种抗蚀层的薄膜化装置，该抗蚀层的薄膜化装置具备：薄膜化处理单元，借助薄膜化处理液使形成于基板上的抗蚀层中的成分胶束化；胶束除去处理单元，借助胶束除去液除去胶束；所述抗蚀层的薄膜化装置的特征在于，胶束除去处理单元具有pH传感器以及酸性溶液添加用泵，该pH传感器被设置于能监视胶束除去液的pH的位置，酸性溶液添加用泵被设置于在胶束除去液的pH上升时能将酸性溶液添加到胶束除去液中的位置，酸性溶液添加用泵在胶束除去液的实际pH值pH‑M为pH‑A以上时将酸性溶液添加到胶束除去液中，pH‑M时的酸性溶液添加用泵的实际输出OP‑M由pH‑A时的酸性溶液添加用泵的输出OP‑A与胶束除去液的pH的控制目标值pH‑B时的酸性溶液添加用泵的输出OP‑B之间的比例控制确定，并且，OP‑M相对于酸性溶液添加用泵的最大输出OP‑X为10%以上50%以下，其中，pH‑A<pH‑B，OP‑A≤OP‑M≤OP‑B。