[发明专利]石英基Si-V发光的单颗粒层纳米金刚石薄膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201610866132.1 申请日: 2016-09-30
公开(公告)号: CN106567054B 公开(公告)日: 2019-07-26
发明(设计)人: 胡晓君;仰宗春 申请(专利权)人: 浙江工业大学
主分类号: C23C16/27 分类号: C23C16/27
代理公司: 杭州天正专利事务所有限公司 33201 代理人: 黄美娟;王兵
地址: 310014 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种石英基Si‑V发光的单颗粒层纳米金刚石薄膜,其制备方法为:用纳米金刚石溶液对石英衬底进行超声振荡预处理;采用热丝化学气相沉积法,在经过预处理的石英衬底上制备得到纳米金刚石薄膜,再将其置于500~650℃的空气中保温10~50min,即制得所述的石英基Si‑V发光的单颗粒层纳米金刚石薄膜;本发明简单易行、容易操作,制备得到的具有强Si‑V发光的单颗粒层纳米金刚石薄膜与石英基体结合力较弱,为剥离获得具有Si‑V发光的纳米金刚石晶粒奠定了良好的基础,这对于实现纳米金刚石在生物标记、单光子源等领域的应用具有十分重要的科学意义和工程价值。
搜索关键词: 石英 si 发光 颗粒 纳米 金刚石 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种石英基Si‑V发光的单颗粒层纳米金刚石薄膜,其特征在于,所述石英基Si‑V发光的单颗粒层纳米金刚石薄膜按如下方法制备得到:(1)用纳米金刚石溶液对石英衬底进行超声振荡预处理,操作方法为:将纳米金刚石粉末以料液质量比1:50~150分散于去离子水中,得到纳米金刚石溶液,将石英衬底置于所得纳米金刚石溶液中,使用功率为200W的超声波振荡机进行超声波振荡0.5~3h,之后将石英衬底依次置于去离子水、丙酮中,使用功率为200W的超声波振荡机分别进行超声清洗2min,最后干燥,备用;(2)采用热丝化学气相沉积法,在经过步骤(1)预处理的石英衬底上制备得到纳米金刚石薄膜,再将其置于500~650℃的空气中保温10~50min,即制得所述的石英基Si‑V发光的单颗粒层纳米金刚石薄膜。
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