[发明专利]下转换发光材料的制造方法有效
| 申请号： | 201610859661.9 | 申请日： | 2016-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN107868941B | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 宋超;郑桦;黄锐;郭艳青;王祥;宋捷;林圳旭;张毅;李洪亮 | 申请（专利权）人： | 韩山师范学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C09K11/82;C09K11/78 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 521041 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种下转换发光材料的制造方法，形成步骤包括：步骤一、提供多靶磁控溅射设备；步骤二、安装多个靶材，靶材根据所要形成的稀土掺杂氧化物进行选取，稀土掺杂氧化物的基质材料为稀土钒酸盐或稀土铌酸盐，靶材包括：基质材料对应的基质稀土氧化物靶、氧化钒靶或氧化铌靶，稀土掺杂材料对应的掺杂稀土靶；步骤三、将衬底放入到共溅射反应室的基片座上；步骤四、将对共溅射反应室进行抽真空；步骤五、通入溅射气体并进行衬底温度为室温～400摄氏度的溅射工艺在衬底表面形成所述稀土掺杂氧化物。本发明能在较低温度下实现材料的大面积生长，能与微电子工艺技术相兼容，工艺简单、成本低，并能有效的与太阳能电池的制备过程相结合。 | ||
| 搜索关键词： | 转换 发光 材料 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种下转换发光材料的制造方法，其特征在于，下转换发光材料由采用包括如下步骤形成的稀土掺杂氧化物组成：步骤一、提供多靶磁控溅射设备；步骤二、在所述多靶磁控溅射设备的共溅射反应室中安装多个靶材，靶材根据所要形成的所述稀土掺杂氧化物进行选取，所述稀土掺杂氧化物的基质材料为稀土钒酸盐或稀土铌酸盐，靶材包括：所述稀土掺杂氧化物的基质材料对应的基质稀土氧化物靶、氧化钒靶或氧化铌靶，所述稀土掺杂氧化物的稀土掺杂材料对应的掺杂稀土靶；步骤三、将衬底放入到所述共溅射反应室的基片座上；步骤四、将对所述共溅射反应室进行抽真空；步骤五、通入溅射气体并进行溅射工艺在所述衬底表面形成所述稀土掺杂氧化物，所述溅射工艺的衬底温度为室温～400摄氏度；通过对所述溅射工艺的衬底温度的控制，使得所述下转换发光材料的形成工艺和采用制造硅基太阳能电池的微电子工艺相结合，并实现所述下转换发光材料和所述硅基太阳能电池相结合，使得所述下转换发光材料和所述硅基太阳能电池的结合结构中，利用所述下转换发光材料将高能量的光子转换为能被所述硅基太阳能电池吸收且进行光电转换的低能量的光子，提高硅基太阳能电池的光电转换效率。
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