[发明专利]一种钎焊不锈钢用Ag-Cu/W纳米多层膜钎料的制备方法

摘要

本发明涉及一种钎焊不锈钢用Ag‑Cu/W纳米多层膜钎料的制备方法。所述的多层膜钎料中银占16.7‑37.5％，铜占12.5‑33.3％，钨占50％。采用磁控溅射法交替溅射银铜层和钨层。银铜层由银靶和铜靶两个靶材同时溅射，钨靶用一个靶材单独溅射。每层银铜层厚度为8nm‑14nm，每层W层厚度小于10nm。银铜层中Ag与Cu的原子比例是0.5:1到3:1之间。交替沉积200‑400周期，最终总薄膜厚度4μm‑8μm。本发明不会造成钎料不匀，此外，钎料厚度可通过溅射周期轻松控制。利用纳米粒子的降低熔点效应，使得纳米微粒的熔点急剧下降。钎焊时，反应层能与基体形成低熔点的共晶或亚共晶组织，有效降低钎焊温度。

主权项

1.一种钎焊不锈钢用Ag‑Cu/W纳米多层膜钎料的制备方法，其特征在于：所述的纳米多层膜钎料由银、铜和钨三种元素组成，按照原子百分比，其中银占16.7‑37.5％，铜占12.5‑33.3％，钨占50％，银和铜之和占50％；采用磁控溅射法交替溅射银铜层和钨层；银铜层由银靶和铜靶两个靶材同时溅射，钨靶用一个靶材单独溅射；每层银铜层厚度为8nm‑14nm，每层W层厚度小于10nm；交替沉积200‑400周期，最终总薄膜厚度4μm‑8μm。