[发明专利]干燥装置和干燥处理方法

摘要

本发明提供在对基板上的有机材料膜进行干燥处理时尽量地降低混入到处理容器内的水分的影响的干燥装置和干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）和用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为基板支承部的基板支承部（3），在干燥处理期间，在处理容器（1）内的压力为大气压～500Pa的范围内，将基板（S）保持在第1高度位置，在处理容器（1）内的压力为3Pa以下时，使基板（S）下降到比第1高度位置低的第2高度位置。通过在将基板（S）保持在第1高度位置的状态下进行减压排气，能够使处理容器（1）内的水分自底壁（11）的排气口（11a）快速地排出。

主权项

1.一种干燥装置，其中，该干燥装置包括：处理容器，其能够抽成真空并具有底壁、侧壁以及顶壁，在该处理容器内，在减压条件下除去被涂敷在基板的表面的有机材料膜中的溶剂而使有机材料膜干燥；基板支承部，其用于在所述处理容器内支承所述基板；排气装置，其用于对所述处理容器内进行减压排气；以及控制部，其用于对所述基板支承部支承所述基板的高度位置可变地进行调节，在对所述处理容器的内部进行减压排气的过程中,所述控制部进行控制，以便至少在所述处理容器内的压力下降到所述处理容器的内部的空气中的水分会凝集的第1压力之前的期间利用所述基板支承部将所述基板保持在第1高度位置，并至少在所述处理容器内的压力为比所述第1压力低的第2压力以下时将所述基板保持在从所述第1高度位置下降后的第2高度位置。