[发明专利]一种设有新型蒸镀鼓的金属化薄膜真空镀膜装置在审
| 申请号： | 201610836700.3 | 申请日： | 2016-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN106381467A | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 沈艺辉 | 申请（专利权）人： | 铜陵市铜创电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 244000 安徽省铜陵市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种设有新型蒸镀鼓的金属化薄膜真空镀膜装置，包括真空镀膜室和设于真空镀膜室内的蒸镀鼓，所述蒸镀鼓的左侧固定安装有送膜机构，所述冷却转鼓的右侧固定安装有收卷机构，所述冷却转鼓的下方设有两个蒸镀坩埚，所述蒸镀鼓包括辊套、辊体、流通管，所述辊套同心套设于辊体外，所述辊体和辊套之间形成冷却腔，所述冷却腔内填充有冷却液，所述辊体外环套有隔热层，所述流通管包括位于冷却腔的冷却管以及位于隔热层内的回流管。本发明可随时进行热交换，保证高速运转的蒸镀鼓也能得到很好的散热。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设有 新型 蒸镀鼓 金属化 薄膜 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种设有新型蒸镀鼓的金属化薄膜真空镀膜装置，包括真空镀膜室（57）和设于真空镀膜室（57）内的蒸镀鼓，其特征在于：所述蒸镀鼓的左侧固定安装有送膜机构，所述冷却转鼓的右侧固定安装有收卷机构，所述冷却转鼓的下方设有两个蒸镀坩埚，所述蒸镀鼓包括辊套（1）、辊体（2）、流通管（3），所述辊套（1）同心套设于辊体（2）外，所述辊体（2）和辊套（1）之间形成冷却腔（4），所述冷却腔（4）内填充有冷却液（5），所述辊体（2）外环套有隔热层（6），所述流通管（3）包括位于冷却腔（4）的冷却管（31）以及位于隔热层（6）内的回流管（32），所述冷却管（31）一端和回流管（32）流通，所述辊套（1）两端分别设有第一法兰（7）和第二法兰（8），所述第一法兰（7）上设有轴头组件，所述的轴头组件包括进水管（9）以及同心设置在该进水管（9）内的出水管（10），所述进水管（9）一端和冷却管（31）连通，所述出水管（10）一端和回流管（32）流通，所述第二法兰（8）连接有动力轴（11）。
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