[发明专利]一种制备可延展柔性无机电子器件的装置及方法有效
申请号: | 201610826153.0 | 申请日: | 2016-09-18 |
公开(公告)号: | CN106206384B | 公开(公告)日: | 2023-04-14 |
发明(设计)人: | 潘开林;秦晴;杨帆;李婷婷;曹威武;王琳 | 申请(专利权)人: | 桂林电子科技大学 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107 | 代理人: | 陈跃琳 |
地址: | 541004 广西*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本发明公开一种制备可延展柔性无机电子器件的装置,包括圆筒支架、至少2条拉伸导槽、至少2个固定夹持件和至少2个拉伸夹持件;每条拉伸导槽沿圆筒支架的圆周方向延伸,且所有拉伸导槽相互平行地环设在圆筒支架上;每个固定夹持件固定在圆筒支架上,且所有固定夹持件均处于圆筒支架的同一条母线上;每个拉伸夹持件均嵌设在1条拉伸导槽内,所有拉伸夹持件在其所处拉伸导槽内沿圆筒支架的圆周方向移动。本发明不仅能够增加黏附的可靠性,而且一定程度上提高了可延展电子在受到变形作用时延展率;具有操作简单、方便,制造成本低,可靠性高,可实现小规模、大规模制造的特点;特别适用于可延展无机电子器件的制备。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 延展 柔性 无机 电子器件 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种制备可延展电子的装置,其特征在于:包括圆筒支架(1)、至少2条拉伸导槽(2)、至少2个固定夹持件(3)和至少2个拉伸夹持件(4);其中拉伸导槽(2)的条数、固定夹持件(3)的个数和拉伸夹持件(4)的个数三者相等;每条拉伸导槽(2)沿圆筒支架(1)的圆周方向延伸,且所有拉伸导槽(2)相互平行地环设在圆筒支架(1)上;每个固定夹持件(3)固定在圆筒支架(1)上,且所有固定夹持件(3)均处于圆筒支架(1)的同一条母线上;每个拉伸夹持件(4)均嵌设在1条拉伸导槽(2)内,所有拉伸夹持件(4)在其所处拉伸导槽(2)内沿圆筒支架(1)的圆周方向移动。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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