[发明专利]减振器、减小干扰振动的方法和光刻机有效
| 申请号： | 201610795643.9 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN107783382B | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 周宏权;刘赟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种减小干扰振动的方法，包括如下步骤：采用隔振器对干扰振动进行初次隔离，采用阻尼器对从所述隔振器传入的干扰振动进行二次隔离，所述减小干扰振动的方法采用二次减振的方法，提高了减振的效果。本发明还公开了一种减振器，设置在设备的基座和机器载荷之间，所述减振器不仅降低了干扰振动对设备的影响，还消除了在长时间重负载压缩下引起的所述机器载荷相对外部世界的目标位置改变。本发明还公开了一种采用上述减振器的光刻机，采用上述减振器后，所述光刻机提高了稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 减振器 减小 干扰 振动 方法 光刻 | ||
【主权项】：
一种减小干扰振动的方法，其特征在于，包括如下步骤：采用隔振器对干扰振动进行初次隔离；接着，采用阻尼器对从所述隔振器传入的干扰振动进行二次隔离。
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