[发明专利]直拉式单晶炉硅料复投装置有效
申请号: | 201610791369.8 | 申请日: | 2016-08-31 |
公开(公告)号: | CN106119953B | 公开(公告)日: | 2018-08-28 |
发明(设计)人: | 傅林坚;曹建伟;倪军夫;叶钢飞;陈丽婷 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B29/06 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及直拉式单晶炉,旨在提供直拉式单晶炉硅料复投装置。该直拉式单晶炉硅料复投装置包括装料室和下料管,装料室分为至少两个料斗,每个料斗下方装有对应的合页门,每个合页门上安装有吊环,下料管的上方与装料室的下口套合安装,下料管的上部焊有十字提升条;装料室的上方设有装料室上盖板和装料室上法兰,装料室上盖板上布置有提升电机和气缸,提升电机通过钢丝绳连接十字提升条,用于控制下料管的升降,每个气缸分别通过钢丝绳与对应合页门上的吊环连接,用于控制对应合页门的开闭。本发明能通过一次抽真空,完成多次复投料,节省时间。 | ||
搜索关键词: | 直拉式单晶炉硅料复投 装置 | ||
【主权项】:
1.直拉式单晶炉硅料复投装置,包括装料室和下料管,其特征在于,所述装料室分为至少两个料斗,每个料斗下方装有对应的合页门,每个合页门上安装有吊环;所述下料管的上方与装料室的下口套合安装,下料管能在上下方向上自由运动;下料管的上方设有下料管上法兰,且下料管上法兰的直径大于装料室下口的直径,用于限制下料管上下移动行程;下料管的上部开设4个焊接剖口,并焊有十字提升条;下料管的内部还设有螺旋状挡板;装料室的上方设有装料室上盖板和装料室上法兰,装料室上法兰均布有螺纹孔,用于安装装料室上盖板;装料室上盖板上布置有提升电机,提升电机通过钢丝绳连接十字提升条,用于控制下料管的升降;装料室上盖板上还设有数量与料斗数量相同的气缸,每个气缸分别通过钢丝绳与对应合页门上的吊环连接,用于控制对应合页门的开闭;装料室的下方设有密封法兰,用于阻止外部空气进入装料室。
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