[发明专利]样品支座和样品支座组有效
申请号: | 201610773695.6 | 申请日: | 2016-08-31 |
公开(公告)号: | CN106483336B | 公开(公告)日: | 2019-08-23 |
发明(设计)人: | 安藤和德 | 申请(专利权)人: | 日本株式会社日立高新技术科学 |
主分类号: | G01Q10/00 | 分类号: | G01Q10/00;G01Q30/20 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 闫小龙;刘春元 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及样品支座和样品支座组。提供了一种能够通过利用分别不同的测定原理的多个测定装置来容易地测定同一样品的同一地方的样品支座和样品支座组。一种样品支座,所述样品支座是使样品(100)的表面露出来保持、分别安装于利用分别不同的测定原理的多个测定装置(200)、(300)的内部、能够分别测定样品的样品支座(10),所述样品支座的特征在于,具备:主体部(2),包围样品;对准标记(6a)~(6c),分别配置在主体部的表面的2个以上的不同的位置,能够由测定装置检测;以及样品保持部(4),配置在主体部的内侧,以能相对于对准标记的标记面将样品的表面的高度(H)设定为固定的方式保持样品。 | ||
搜索关键词: | 样品 支座 | ||
【主权项】:
1.一种样品支座,使样品的表面露出来保持,分别安装于利用分别不同的测定原理的多个测定装置的内部,能够分别测定所述样品,所述样品支座的特征在于,具备:主体部,包围所述样品;对准标记,分别配置在所述主体部的表面的2个以上的不同的位置,能够由所述测定装置检测;以及样品保持部,配置在所述主体部的内侧,以能相对于所述对准标记的标记面将所述样品的所述表面的高度设定为固定的方式保持所述样品,其中,在所述对准标记的所述标记面与所述样品的所述表面之间的高度差被设定在各个所述测定装置的焦点深度的范围内。
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