[发明专利]涂布机及光阻涂布方法在审
| 申请号： | 201610753527.0 | 申请日： | 2016-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN106292185A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 袁夏梁 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G02F1/13 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,熊永强 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种涂布机，用于向包括对位标记区的基板上涂布光阻，包括喷头和控制部，所述喷头包括喷头本体，以及排列在所述喷头本体的底面上的多个喷嘴，所述喷头本体用于容纳光阻，所述喷嘴设有开关阀，所述控制部与所述开关阀电连接，所述控制部能够控制所述喷嘴的所述开关阀进行打开或者闭合。根据本发明的涂布机能够有效解决BOA技术中光阻层对位问题，提升BOA产品的对比度。本发明还提供一种光阻涂布方法。 | ||
| 搜索关键词： | 涂布机 光阻涂布 方法 | ||
【主权项】：
一种涂布机，用于向基板上涂布光阻，其特征在于，包括喷头和控制部，所述喷头包括喷头本体，以及排列在所述喷头本体的底面上的多个喷嘴，所述喷头本体用于容纳光阻，所述喷嘴设有开关阀，所述控制部与所述开关阀电连接，所述控制部能够控制所述喷嘴的所述开关阀进行打开或者闭合。
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