[发明专利]一种高温扩散设备

摘要

本发明公开了一种高温扩散设备，包括设备主体、高温加热管、加热丝、抽气泵、石英进气口、硅片放置槽、石英出气口和出气孔，所述高温加热管外部设置有保温层，所述加热丝外部安装有高温加热管，所述抽气泵下方连接有电器控制箱，所述散热孔左侧设置有散热风扇，且散热风扇上方安装有设备主体，所述晶舟左侧连接有晶舟固定架，所述硅片放置槽外部安装有晶舟。该高温扩散设备底部设置有散热孔和散热风扇，由于需要将加热丝加热到很高的温度，所以电器也会相应的产生很多热量，散热孔和散热风扇可以将电器产生的热量及时排出，增加了设备的使用寿命，设备主体内部四周均设置有保温层，一定程度的防止了设备内部的热量流失，节约了能源。

主权项

1.一种高温扩散设备，包括设备主体（1）、高温加热管（2）、加热丝（3）、抽气泵（4）、石英进气口（5）、硅片放置槽（11）、石英出气口（13）和出气孔（14），其特征在于：所述设备主体（1）下方固定有电器控制箱（7），所述高温加热管（2）外部设置有保温层（6），且保温层（6）外部设置有设备主体（1），所述加热丝（3）外部安装有高温加热管（2），所述抽气泵（4）下方连接有电器控制箱（7），且左侧固定有设备主体（1），所述石英进气口（5）左侧安装有石英进气管（12），且石英进气管（12）上方设置有晶舟（9），所述电器控制箱（7）内部安装有散热孔（8），所述散热孔（8）左侧设置有散热风扇（15），且散热风扇（15）上方安装有设备主体（1），所述晶舟（9）左侧连接有晶舟固定架（10），且晶舟固定架（10）外部固定有保温层（6），所述硅片放置槽（11）外部安装有晶舟（9），所述石英出气口（13）右侧连接有设备主体（1），所述出气孔（14）下方连接有石英进气管（12），所述设备主体（1）内部四周均设置有保温层（6），所述抽气泵（4）与设备主体（1）连接方式为无缝连接，所述晶舟（9）共设置有三个，且位置为上下对称，所述出气孔（14）均匀密布在石英进气管（12）上。