[发明专利]一种氧化锌掺杂的钛酸铋钠-钴酸铋压电薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及氧化锌掺杂的钛酸铋钠‑钴酸铋压电薄膜及其制备方法，可有效克服铅基薄膜材料在生产、使用及废弃的过程中个生态环境和人类健康带来的危害的问题，方法是，按照0.97Bi_0.5Na_0.5TiO₃‑0.03BiCoO₃+x%wtZnO的化学计量称取原料Bi₂O₃、NaCO₃、TiO₂、Co₂O₃和ZnO，以乙醇为介质球磨，烘干，700℃预烧3h，再以乙醇为介质球磨，烘干，压制成坯片，烧结成BNT‑BC‑ZnO靶材；将BNT‑BC‑ZnO靶材和(111)Pt/Ti/SiO₂/Si(001)基片分别安装在靶材托和基片托上，调整靶材和基片的距离，抽真空，加热基片，在背底真空达到10^‑4 Pa、基片温度500‑700℃后，通入氩气和氧气，气压0.5‑5Pa；调节溅射功率为50‑200W，靶材起辉后，开始生长薄膜，薄膜生长结束，原位退火，即成，本发明材料配方简单，易制备，产品质量好，环保。

主权项

1.一种氧化锌掺杂的钛酸铋钠‑钴酸铋压电薄膜，其特征在于，该氧化锌掺杂的钛酸铋钠‑钴酸铋压电薄膜为：0.97Bi0.5Na0.5TiO3‑0.03BiCoO3+x%wtZnO(BNT‑BC‑x%wtZnO)，其中x为ZnO占BNT‑BC的重量百分比，0

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