[发明专利]磨削装置

摘要

提供一种磨削装置。磨削装置(1)具有：两个以上的保持单元(5a、5b)，保持单元具有使卡盘工作台(50a、50b)旋转的电动机(54)；旋转工作台(3)，保持单元以均等的间隔配设于旋转工作台，并且旋转工作台旋转；和分隔部(6)，其配设在旋转工作台之上并将两个以上的卡盘工作台之间分隔，电动机(54)配设在旋转工作台之上，分隔部(6)具有将电动机收纳在内侧的凹部(60)，通过使磨削水(22)与分隔部的外侧面(61)接触而对分隔部和电动机进行冷却，所以因电动机的发热而产生的热量不会波及到旋转工作台。因此，能够防止旋转工作台发生热变形，并能够将晶片(W)加工至规定的磨削厚度。

主权项

一种磨削装置，其具有：两个以上的保持单元，该保持单元具有使对晶片进行保持的卡盘工作台旋转的电动机；旋转工作台，两个以上的该保持单元以均等的间隔配设于该旋转工作台，并且该旋转工作台旋转；分隔部，其配设在该旋转工作台之上并将两个以上的卡盘工作台之间分隔；磨削单元，其具有对该卡盘工作台所保持的晶片进行磨削的磨削磨具；以及磨削水提供单元，其对晶片和该磨削磨具提供磨削水，其特征在于，该电动机配设在该旋转工作台之上，该分隔部具有凹部，该凹部将配设在该旋转工作台之上的该电动机收纳在内侧，通过使该磨削水与该分隔部的外侧接触，而对该分隔部和收纳在该分隔部内的该电动机进行冷却。