[发明专利]一种新型撑托节在审

专利信息
申请号: 201610724641.0 申请日: 2016-08-24
公开(公告)号: CN106531841A 公开(公告)日: 2017-03-22
发明(设计)人: 黄溪平 申请(专利权)人: 苏州勤力来工业部件有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/673
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215100 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种新型撑托节,是由本体、环和套筒组成,所述的本体的中心线位置设置有贯穿本体的套筒,环有5个,等距的设置在本体上,所述的本体、环和套筒采用PPS+GF40制成。本发明采用PPS+GF40做为撑托节材质的优点,解决了它尺寸稳定的问题,减少硅片输送入掉篮子时发生碰撞而损坏的问题;适应在高温的烘干温度,而不会引起撑托节变形和尺寸变异,使用的寿命大大的增长;适应在碱性的清洗液中浸泡,而不腐蚀,增长了它的使用寿命;材质上的添加了40%的玻璃纤维,不光能够提高尺寸的稳定性,同时也加强了它的耐磨性和寿命。
搜索关键词: 一种 新型 撑托节
【主权项】:
一种新型撑托节,是由本体、环和套筒组成,其特征在于:所述的本体的的中心线位置设置有贯穿本体的套筒,环有5个,等距的设置在本体上,所述的本体、环和套筒采用PPS+GF40制成。
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