[发明专利]一种用于彩色滤光片涂布工艺的涂布设备在审
申请号: | 201610715813.8 | 申请日: | 2016-08-24 |
公开(公告)号: | CN106380083A | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 吴利峰 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C03C17/00 | 分类号: | C03C17/00 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人: | 常怡 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本申请提出了一种用于彩色滤光片涂布工艺的涂布设备,涉及一种涂布设备平台。该涂布设备包括第一平台,位于所述第一平台的两侧的第二平台和第三平台;以及沿第二平台、第一平台、第三平台方向移动的涂布机;其中,所述第二平台的上表面和第三平台的上表面均高于所述第一平台的上表面,以使所述第二平台的侧面、第三平台的侧面以及所述第一平台的上表面围成用于容置彩色滤光片的玻璃基板的凹槽;所述玻璃基板、第二平台和第三平台三者的上表面保持同一水平度。整个玻璃基板上的膜厚均一性得到了很好的控制,避免了在新产品生产前需要定期去确认和调整涂布移动方向的膜厚的繁琐工作,极大提高了涂布设备的制程能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 彩色 滤光 片涂布 工艺 布设 | ||
【主权项】:
一种用于彩色滤光片涂布工艺的涂布设备,包括:第一平台;位于所述第一平台的两侧的第二平台和第三平台;以及沿第二平台、第一平台、第三平台方向移动的涂布机;其中,所述第二平台的上表面和第三平台的上表面均高于所述第一平台的上表面,以使所述第二平台朝向第一平台的第一侧面、所述第三平台的朝向第一平台的第二侧面以及所述第一平台的上表面围成用于容置彩色滤光片的玻璃基板的凹槽;所述玻璃基板、第二平台和第三平台这三者的上表面保持同一水平度。
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