[发明专利]封装结构及其形成方法有效
申请号: | 201610677405.8 | 申请日: | 2016-08-17 |
公开(公告)号: | CN106548947B | 公开(公告)日: | 2020-01-14 |
发明(设计)人: | 余振华;陈志华;蔡豪益;陈玉芬 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L23/31 |
代理公司: | 11409 北京德恒律治知识产权代理有限公司 | 代理人: | 章社杲;李伟 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明描述了封装结构和形成封装结构的方法。一种方法包括在第一衬底的凹部中放置第一封装件。第一封装件包括第一管芯。该方法还包括将第一传感器附接至第一封装件和第一衬底。第一传感器电耦合至第一封装件和第一衬底。 | ||
搜索关键词: | 封装 结构 及其 形成 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于形成封装结构的方法,包括:/n将第一封装件放置在第一衬底的凹部内,所述第一封装件具有包括第一管芯的至少两个管芯;以及/n在所述至少两个管芯中的每个上分别附接有各自的传感器,其中第一传感器附接至所述第一封装件和所述第一衬底,/n其中,所述各自的传感器一起覆盖的包括所述凹部的第一衬底的总表面积,大于所述至少两个管芯一起覆盖所述凹部的总表面积,/n其中,所述第一传感器包括直接位于所述第一衬底的所述凹部上方的第一部分以及直接位于所述第一衬底的所述凹部之外的部分上方的第二部分,所述第一部分和所述第二部分分别电耦合至所述第一封装件和所述第一衬底。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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