[发明专利]电子出射窗箔在审
| 申请号： | 201610651631.9 | 申请日： | 2011-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN106409637A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 本诺·齐格利戈;卢卡·波皮;拉斯-奥克·内斯隆德;沃纳·哈格;库尔特·霍尔姆;安德斯·克里斯蒂安松 | 申请（专利权）人： | 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司 |
| 主分类号： | H01J33/04 | 分类号： | H01J33/04;C23C28/00;G21K5/04 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所31263 | 代理人： | 樊英如,张静 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种和在腐蚀环境中工作的高性能电子束发生器一起使用的电子出射窗箔。该电子出射窗箔包括夹层结构，该夹层结构具有Ti膜(202)、比Ti具有更高热导率的材料的第一层(204)和能够保护所述膜(202)避免被所述腐蚀环境破坏的材料的挠性第二层(206)，其中该第二层(206)面向该腐蚀环境。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 出射窗箔 | ||
【主权项】：
一种和在腐蚀环境中工作的高性能电子束发生器一起使用的电子出射窗箔，所述电子出射窗箔包括夹层结构，所述夹层结构具有：Ti膜(202)，具有比Ti更高热导率的材料的第一层(204)，以及能够保护所述Ti膜(202)避免被所述腐蚀环境破坏的材料的挠性第二层(206)，其中，所述Ti膜(202)被设置在所述第一层(204)与所述挠性第二层(206)之间，其中，所述第一层(204)的材料是Al。
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