[发明专利]低温泵

摘要

本发明提供一种提高气体吸留量的低温泵。本发明的低温泵(10)具备气体流动调整部件(80)，该气体流动调整部件(80)使从屏蔽件主开口(34)流入的气体的流动偏转以使其偏离制冷机结构部(21)。气体流动调整部件(80)以不与制冷机(16)的第2冷却台(24)及第2低温板单元(20)这两者接触的方式与制冷机结构部(21)相邻配置。气体流动调整部件(80)可以热连接于制冷机(16)的第1冷却台(22)。

主权项

1.一种低温泵，其特征在于，具备：制冷机，其具备冷却至第1冷却温度的第1冷却台、冷却至比所述第1冷却温度低的第2冷却温度的第2冷却台及将所述第2冷却台结构性地支承于所述第1冷却台的制冷机结构部；放射屏蔽件，其具有用于接收气体的屏蔽件主开口，且所述放射屏蔽件热连接于所述第1冷却台，所述放射屏蔽件具备包围所述第2冷却台的屏蔽件侧部，并在所述屏蔽件侧部具有用于插入所述制冷机结构部的屏蔽件侧部开口；低温板单元，其热连接于所述第2冷却台，并且与所述第2冷却台一同被所述屏蔽件侧部包围；气体流动调整部件，其以不与所述第2冷却台及所述低温板单元这两者接触的方式与所述制冷机结构部相邻配置，并使从所述屏蔽件主开口流入的所述气体的流动偏转以使其偏离所述制冷机结构部；及制冷机罩，其热连接于所述第2冷却台，所述制冷机罩未与所述放射屏蔽件及所述气体流动调整部件中的任何一方接触，所述制冷机罩从第2冷却台朝向所述放射屏蔽件延伸，所述低温板单元包括与所述屏蔽件主开口相向的顶部低温板，所述顶部低温板配置成在所述顶部低温板与所述制冷机罩之间形成有间隙区域，所述气体流动调整部件具备从所述屏蔽件侧部或所述第1冷却台朝向所述间隙区域延伸出且进入到所述间隙区域的内缘部，所述内缘部被所述顶部低温板覆盖。