[发明专利]内分立外环形的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法有效
| 申请号： | 201610635063.3 | 申请日： | 2016-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN106323262B | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 张卫平;欧彬;刘朝阳;唐健;孙殿竣;邢亚亮;寻之宇;崔峰;赵万良;成宇翔;刘瑞鑫 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/5691 | 分类号： | G01C19/5691 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 徐红银;郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种内分立外环形的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，其中：中心固定支撑柱一端与单晶硅基底连接，另一端与微型谐振子连接；外电极设置于单晶硅基底或玻璃基底的表面；内电极设置于单晶硅基底或玻璃基底的表面；单晶硅基底与玻璃基底键合；本发明结合MEMS体硅加工和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；可利用内电极和环形一体式外电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 分立 环形 电极 分布 式微 陀螺仪 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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