[发明专利]一种PET薄膜表面蒸镀微米级Al膜的制备方法在审

专利信息
申请号: 201610614573.2 申请日: 2016-07-29
公开(公告)号: CN106222613A 公开(公告)日: 2016-12-14
发明(设计)人: 陈照峰;叶信立 申请(专利权)人: 南京凤源新材料科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/20
代理公司: 北京轻创知识产权代理有限公司11212 代理人: 谈杰
地址: 211100 江苏省南京市江宁区禄口街道*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种PET薄膜表面蒸镀微米级Al膜的制备方法,在真空室中,载有PET薄膜基材的PET薄膜辊筒在传送带的带动下,经等离子表面处理仪进行PET薄膜基材表面处理,去除表面杂质,然后经过蒸镀辊,蒸镀辊下方的铝原子蒸发源中的铝原子受热在PET薄膜表面蒸镀形成一层0.1μm‑0.3μm的Al膜,经传送辊筒传送后冷却形成镀铝PET薄膜。本发明保证了铝箔的纯度,降低了铝箔的厚度,大大降低了热桥效应,减少了镀铝薄膜的层数,提升了镀铝PET膜材的阻隔性能,提高了其保温隔热性能,能够很好地应用于真空绝热板的阻隔膜。
搜索关键词: 一种 pet 薄膜 表面 微米 al 制备 方法
【主权项】:
一种PET薄膜表面蒸镀微米级Al膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在真空室中,PET薄膜辊筒、蒸镀辊筒和传送辊筒之间依次用传送带连接,传送带保持一定的张力,能够与薄膜紧密贴合;(2)PET薄膜辊筒、蒸镀辊筒和传送辊筒以相同的速度转动,PET薄膜基材在传送带的带动下,经等离子表面处理仪进行PET薄膜基材表面处理,等离子表面处理仪通过射频电源在高电压情况下起辉产生高能量的无序等离子体,通过等离子体轰击清洗PET薄膜基材表面,去除表面杂质;(3)经清洗后的PET薄膜基材到达蒸镀辊筒,蒸镀辊筒下方的铝原子蒸发源通过将铝丝置于熔池中进行高温加热,使铝丝升华或蒸发来产生铝原子,然后淀积在PET膜材上,形成一层0.1μm‑0.3μm的Al膜,经传送辊筒传送后冷却形成镀铝PET薄膜。
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