[发明专利]一种投影物镜

摘要

本发明提供一种投影物镜，所述投影物镜至少由23片透镜组成，所述投影物镜从物面到像面依次包括：第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组，所述投影物镜的有效焦距f1与所述投影物镜的物面至像面的距离L满足0.1<|L/f1|<0.75，所述投影物镜的物方远心角度θ满足5mrad<θ<7mrad。本发明提供的投影物镜至少由23片透镜组成，通过所述投影物镜的有效焦距f1与所述投影物镜的物面至像面的距离L满足0.1<|L/f1|<0.75以及所述投影物镜的物方远心角度为5mrad<θ<7mrad，既可降低本系统对于镜面上由于加工产生的不平整度的敏感度，又提高物面对畸变的灵敏度，从而具有独立调整畸变的功能，从而提高像质的补偿效果，在提高像质的同时所述投影物镜减少了透镜的数量，从而降低了投影物镜使用透镜的成本。

主权项

1.一种投影物镜，其特征在于，所述投影物镜至少由23片透镜组成，所述投影物镜从物面到像面依次由第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组组成，所述第一透镜组的光焦度为正，所述第二透镜组的光焦度为负，所述第三透镜组的光焦度为正，所述投影物镜的有效焦距f1与所述投影物镜的物面至像面的距离L满足0.1<|L/f1|<0.75，所述投影物镜的物方远心角度θ满足5mrad<θ<7mrad；/n所述第一透镜组至少由四片透镜组成，所述第一透镜组至少有一个光焦度为正的第一透镜和至少有一个光焦度为负的第二透镜，所述第一透镜与所述第二透镜组成无焦系统。/n