[发明专利]一种用于相差显微镜的相位板在审
| 申请号： | 201610601601.7 | 申请日： | 2016-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN106094092A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 张克奇;邱慧;马浩斌;杨勇 | 申请（专利权）人： | 宁波永新光学股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02B21/14 |
| 代理公司： | 宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙) 33226 | 代理人： | 程晓明 |
| 地址： | 315040 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 提供一种用于相差显微镜的相位板，该相位板在玻璃基板(1)上涂有一圈环形薄膜层(2)，环形薄膜层(2)包括直接涂在玻璃基板(1)上面的底层(5)、夹层(6)与表层(7)，夹层(6)为MgF2层；底层(5)与表层(7)为材料相同的金属膜层，该金属膜层的材料为金属Cr、Nb、Ti、Ni中的其中一种；该相位板具有改变位相与吸收光束等多重作用，具有宽波段相位变化小，使经过它的波长在450nm‑700nm范围内的宽波段光束相位值均为‑90°左右，在宽波段光源下可直接使用；并且该相位板膜层结构简单，便于制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 相差显微镜 相位 | ||
【主权项】：
1. 一种用于相差显微镜的相位板，包括玻璃基板(1)，其特征在于，所述玻璃基板(1)上涂有一圈环形薄膜层(2)，形成环形薄膜层(2)区，环形薄膜层(2)区内形成圆形完全透光区(3)，环形薄膜层(2)外形成环形完全透光区(4)；所述环形薄膜层(2)包括直接涂在玻璃基板(1)上面的底层(5)、涂在该底层(5)上面的夹层(6)与涂在夹层(6)上面的表层(7)；夹层(6)为MgF2层，底层(5)与表层(7)为材料相同的金属膜层；所述环形薄膜层(2)的底层(5)的物理厚度为8nm 至12 nm，表层(7)的物理厚度为3 nm至6 nm；所述环形薄膜层(2)的底层(5)与表层(7)均为金属Cr膜层，所述夹层(6)的物理厚度为110nm至116nm。
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