[发明专利]一种用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构在审
| 申请号： | 201610601441.6 | 申请日： | 2016-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN106078494A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 乔卫民;翟新;李方俊;马艳 | 申请（专利权）人： | 苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 曹毅 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构，包括顶台，所述顶台上设有上盘系统，所述顶台底部设有立柱，所述顶台与所述立柱之间通过第一螺钉，第一平垫和第一弹垫连接，所述顶台与所述上盘系统之间通过第二螺钉，第二平垫和第二弹垫连接。本发明有效的保证了设备在研磨抛光过程中，上盘气缸在施加大压力情况下，加工过程中上下盘之间的平行度以及加工过程的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 研磨机 抛光机 一体化 上盘 结构 | ||
【主权项】：
一种用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构，其特征在于，包括顶台（2），所述顶台（2）上设有上盘系统（1），所述顶台（2）底部设有立柱（3），所述顶台（2）与所述立柱（3）之间通过第一螺钉（4），第一平垫（5）和第一弹垫（6）连接，所述顶台（2）与所述上盘系统（1）之间通过第二螺钉（7），第二平垫（8）和第二弹垫（9）连接。
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