[发明专利]一种高掺杂的硅微谐振式加速度计在审
| 申请号： | 201610594830.0 | 申请日： | 2016-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN107656094A | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 赵虎;李鹏飞;闫鑫;王淞立;李逸伦;任伶 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心11008 | 代理人： | 王世磊 |
| 地址： | 710065 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及高掺杂的硅微谐振式加速度计，特别涉及硅微谐振式加速度计机构层材料的改进。所述加速度计的结构层为硅材料，其特征为硅材料的掺杂浓度大于等于1×1018/cm‑3。提供了一种接地更为一致，压阻效应小，且在外界温度变化时，也具有更好接地效果，噪声小的硅微谐振式加速度计。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 谐振 加速度计 | ||
【主权项】：
一种高掺杂的硅微谐振式加速度计，所述加速度计的结构层为硅材料，其特征为：硅材料的掺杂浓度大于等于1×1018cm‑3。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所，未经中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610594830.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基于冷链物流的分舱双模式农产品保鲜集装箱
- 下一篇：一种油茶籽智能防潮储存箱
