[发明专利]微粒子组成分析装置有效
| 申请号： | 201610592004.2 | 申请日： | 2016-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN106525673B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 武田直希;小泉和裕;浅野贵正;长谷川祥树 | 申请（专利权）人： | 富士电机株式会社 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06;G01N1/44;G01N5/00;G01N33/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 万捷 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 虽然希望对作为测定对象的气体试料中包含的微粒子的组成和浓度进行测定，但存在由于分析装置的例如捕捉微粒子的捕捉体上吸附的气体试料以外的物质的影响而无法准确测定的问题。本发明的微粒子组成分析装置对气体试料中包含的微粒子的组成进行分析，包括：气体分析器；以及将试料气体和比较气体依次导入气体分析器的控制部，该试料气体是由于对气体试料照射激光而生成的微粒子而产生的。 | ||
| 搜索关键词： | 微粒子 组成 分析 装置 | ||
【主权项】：
一种微粒子组成分析装置，对气体试料中包含的微粒子的组成进行分析，其特征在于，包括：气体分析器；以及将试料气体和比较气体依次导入气体分析器的控制部，该试料气体是由于对所述气体试料照射激光而生成的所述微粒子而产生的。
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