[发明专利]一种降低金刚石压头纳米印压单侧成孔圆度误差的方法

摘要

本发明涉及一种降低金刚石压头纳米印压单侧成孔圆度误差的方法，包括将待压金属片固定于硬基底上；设定初始印压深度，利用金刚石锥体压头对待压金属片指定位置按照初始印压深度进行印压作业，形成待压金属片底部的初始孔型轮廓；绕其轴线回转金刚石锥体压头一周，实现金刚石锥体压头上钝圆的最凸点对初始孔型轮廓的边沿轮廓进行修整，形成旋转修整后的最终孔型轮廓。本发明基于已有的金刚石锥体压头纳米印压金属片单侧成孔方法，提出了在印压成孔结束后施加一个绕金刚石锥形压头轴线回转运动的复合成形方法，有效降低因金刚石压头钝圆刃磨不精所导致的单侧成孔圆度误差，提高成孔质量。

主权项

1.一种降低金刚石压头纳米印压单侧成孔圆度误差的方法，其特征在，包括：(1)：将待压金属片(2)固定于硬基底(3)上，使金刚石锥体压头(1)轴线、下压运动方向与待压金属片平面保持垂直状态；(2)：根据金刚石锥体压头刃磨钝圆精度，合理设定初始印压深度，然后对待压金属片(2)指定位置按照初始印压深度进行印压作业，形成待压金属片(2)底部的初始孔型轮廓(4)；满足初始成孔大小，即回转中心O距离孔形最凸点T的直线距离为Rmax，可以通过已有的原位监控手段实时监控外接圆直径以达到成孔目标；(3)：绕其轴线回转金刚石锥体压头(1)一周，实现金刚石锥体压头(1)上钝圆的最凸点对初始孔型轮廓（ 4） 的边沿轮廓进行修整，形成旋转修整后的最终孔型轮廓(5)；旋转修整后的圆孔直径即为最终成孔直径R，R＝Rmax；在印压成孔结束后施加一个绕金刚石锥形压头轴线回转运动的复合成形方法，有效降低因金刚石压头钝圆刃磨不精所导致的单侧成孔圆度误差，提高成孔质量。