[发明专利]基板移送装置及基板移送方法

摘要

本发明公开一种基板移送装置及基板移送方法。利用包括通过喷射气体浮起基板的基板浮起工作台、配置于所述基板浮起工作台的两侧部的导轨及把持所述基板的第一侧部及第二侧部且沿所述导轨移动的基板把持部件的基板移送装置，并且所述基板把持部件具有分别将所述基板的第一侧部及第二侧部分为两个以上部分把持的多个基板把持部分的情况下，所述基板把持部分能够以预定的时间间隔把持所述基板的第一侧部及第二侧部的部分。本发明的基板移送装置及基板移送方法能够防止所述基板在基板浮起移送期间发生弯曲。

主权项

一种基板移送装置，其特征在于，包括：基板浮起工作台，其向基板的底面上喷射气体浮起所述基板；导轨，其配置在所述基板浮起工作台的两侧部；基板把持部件，其把持所述基板的第一侧部及第二侧部且沿所述导轨移动，并且所述基板把持部件具有将所述基板的第一侧部及第二侧部分为两个以上部分把持的多个基板把持部分；真空提供部件，其向所述基板把持部件提供真空；以及控制部，其使所述基板把持部件的基板把持部分以预定的时间间隔把持所述基板的第一侧部及第二侧部的部分。