[发明专利]存储器装置有效
申请号: | 201610575925.8 | 申请日: | 2016-07-20 |
公开(公告)号: | CN107025938B | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 桥本寿文 | 申请(专利权)人: | 东芝存储器株式会社 |
主分类号: | G11C16/10 | 分类号: | G11C16/10;G11C16/14;G11C16/26;H01L27/11524;H01L27/1157 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的实施方式谋求存储器装置的可靠性提高。实施方式的存储器装置包含:半导体柱,在与衬底表面垂直的方向上延伸;第1存储器单元,包含设置在第1字线与半导体柱的侧面之间的第1存储器膜;第2存储器单元,包含设置在第2字线与半导体柱的侧面之间的第2存储器膜;及控制器,控制对第1及第2存储器单元的动作。在对第1存储器单元的读出动作中,在对第1字线施加读出电压(VCGR)、且对第2字线施加非选择电压(V2a)的第1动作之后,执行第2动作,所述第2动作是以使第2字线的电位(V2b)低于半导体柱的电位(V1b)的方式,对第2字线施加第1电压。 | ||
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【主权项】:
一种存储器装置,其特征在于具备:半导体柱,在与衬底表面垂直的方向上延伸;第1存储器单元,包含设置在第1字线与所述半导体柱的侧面之间的第1存储器膜;第2存储器单元,包含设置在第2字线与所述半导体柱的侧面之间的第2存储器膜;及控制器,控制对所述第1及第2存储器单元的动作;且在对所述第1存储器单元的读出动作中,在对所述第1字线施加读出电压、且对所述第2字线施加非选择电压的第1动作之后,执行第2动作,所述第2动作是以使所述第2字线的电位低于所述半导体柱的电位的方式,对所述第2字线施加第1电压。
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