[发明专利]一种PERC太阳能电池的制备方法在审
| 申请号： | 201610569232.8 | 申请日： | 2016-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN106057975A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 袁中存;党继东;俞亚东;张标 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种PERC太阳能电池的制备方法，包括如下步骤：对抛光后的硅片进行预处理；然后在抛光面上沉积氧化铝钝化层；其中，所述预处理包括如下步骤：电离三甲基铝气体或笑气，将电离形成的离子在电场作用下轰击电池片抛光面，对抛光面进行清洁。本发明在背面沉积氧化铝钝化膜和SiNx薄膜之前进行了背面预处理步骤，对背表面进行了清洁，去除了脏污，从而提升了氧化铝的钝化作用,得到的PERC太阳能电池的电池效率提升0.2~0.3%。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 perc 太阳能电池 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：对抛光后的硅片进行预处理；然后在抛光面上沉积氧化铝钝化层；其中，所述预处理包括如下步骤：电离三甲基铝气体或笑气，将电离形成的离子在电场作用下轰击电池片抛光面，对抛光面进行清洁。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
