[发明专利]电子级砷化氢、磷化氢及其混合气体钢瓶的钝化处理装置有效
| 申请号： | 201610553688.5 | 申请日： | 2016-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN106064807B | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 曾庆腾;许召文 | 申请（专利权）人： | 合肥正帆电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B6/06 | 分类号： | C01B6/06;C01B25/06;C23C8/28 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 王桂名 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电子级砷化氢、磷化氢及其混合气体钢瓶的钝化处理装置。包括待钝化处理的第一钢瓶，还包括输出管道与第一钢瓶相通的置换气体钢瓶、气源钢瓶，和输入管道与第一钢瓶相通的回收气体钢瓶以及抽气管道与第一钢瓶相通的抽风机，所述的置换气体钢瓶、气源钢瓶的输出管道上设置第一、第二开关阀，所述的回收气体钢瓶的输入管道上设置第三开关阀，所述的抽风机的抽气管道上设置第四开关阀，所述的第一钢瓶置于加热装置的加热腔内，所述的回收气体钢瓶置于冷凝装置的冷凝腔内，所述的加热腔内设置温感控制单元，温感控制单元控制加热装置使得加热腔内温度控制60‑200℃，所述的回收气体钢瓶的输入管道上位于第三开关阀的下位设置气体回抽装置。 | ||
| 搜索关键词： | 钢瓶 回收气体 开关阀 输入管道 加热腔 钝化处理装置 混合气体钢瓶 抽气管道 加热装置 气源钢瓶 输出管道 温感控制 置换气体 相通 抽风机 电子级 磷化氢 砷化氢 单元控制 钝化处理 回抽装置 冷凝装置 冷凝腔 | ||
【主权项】：
1.一种电子级砷化氢、磷化氢及其混合气体钢瓶的钝化处理装置，包括待钝化处理的第一钢瓶(1)，其特征在于：所述的装置还包括输出管道与第一钢瓶(1)相通的置换气体钢瓶(9)、气源钢瓶(3)，和输入管道与第一钢瓶(1)相通的回收气体钢瓶(6)以及抽气管道与第一钢瓶(1)相通的抽风机(8)，所述的置换气体钢瓶(9)、气源钢瓶(3)的输出管道上设置第一、第二开关阀(a、b)，所述的回收气体钢瓶(6)的输入管道上设置第三开关阀(c)，所述的抽风机(8)的抽气管道上设置第四开关阀(d)，所述的第一钢瓶(1)置于加热装置(2)的加热腔内，所述的回收气体钢瓶(6)置于冷凝装置(7)的冷凝腔内，所述的加热腔内设置温感控制单元，温感控制单元控制加热装置(2)使得加热腔内温度控制为60‑200℃，所述的回收气体钢瓶(6)的输入管道上位于第三开关阀(c)的下位设置气体回抽装置(f)；所述的置换气体钢瓶(9)、气源钢瓶(3)的输出管道、回收气体钢瓶(6)的输入管道均接在抽风机(8)的抽气管道上。
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