[发明专利]顶喷式喷淋蚀刻机

摘要

顶喷式喷淋蚀刻机，包括蚀刻机本体和药液循环系统，其中，蚀刻机本体主要由过渡区、清洗区及与蚀刻区组成，清洗区和蚀刻区上方均设置有喷淋装置，过渡区和清洗区下方设置有同步带传送装置，过渡区下方设置有伺服驱动电机，蚀刻机本体下方设置有贯穿过渡区、清洗区与和蚀刻区的滑轨，滑轨上放置蚀刻篮具，并由推杆将同步带传送装置连接联动，药液循环系统主要由DI水罐体、化学药液罐体、加热槽以及相应的管道、阀门以及循环泵组成；本发明在蚀刻玻璃面板的过程中，可以对药液的温度、压力、流量等实行全自动控制，对蚀刻玻璃面板实现双面瀑布流蚀刻，整个工作过程中，无需人工操作，清洗、蚀刻全部自动完成，蚀刻精度和效率得到显著提升。

主权项

顶喷式喷淋蚀刻机，包括蚀刻机本体及与蚀刻机本体相连接的药液循环系统，其特征在于：所述蚀刻机本体由依次连接组装在一起的过渡区、清洗区、蚀刻区三部分组成；所述过渡区与所述清洗区之间装设清洗区开关门，所述清洗区与所述蚀刻区之间装设蚀刻区开关门，清洗区上部固定装设喷淋装置、清洗区排气管道，蚀刻区上部移动装设喷淋装置、蚀刻区排气管道，过渡区的下部装设伺服驱动电机，所述伺服驱动电机与贯穿装设在过渡区、清洗区下部的同步带传送装置驱动连接，所述蚀刻机本体下部还设置有贯穿过渡区、清洗区与和蚀刻区的滑轨，所述滑轨与同步带传送装置共同对蚀刻篮具推送；还包括一推杆，所述推杆用于连接同步带传送装置与蚀刻篮具；还包括一防水盖，所述防水盖装设在同步带传动装置上，用于隔离清洗区的水液；所述药液循环系统主要由DI水罐体、化学药液罐体、加热槽以及与蚀刻机本体相连接的管道、阀门以及压力泵组成，所述化学药液罐体上设置有液位指示器、冷却水连接器、恒温传感装置、照明灯、药液溢流口及回酸管口。