[发明专利]一种新型高功率高速无掩模光刻系统在审
| 申请号： | 201610528092.X | 申请日： | 2016-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN105974748A | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 曲鲁杰;梅文辉;杜卫冲 | 申请（专利权）人： | 中山新诺科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙) 44286 | 代理人： | 邹常友 |
| 地址： | 528400 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型高功率高速无掩模光刻系统，包括计算机控制及图形系统、点阵图形发生器、能够带动感光基板移动的高精度的移动平台、移动控制系统、位置同步系统，其特征在于：所述点阵图形发生器包括多个激光光源及多根光纤，所述激光光源直接与对应的光纤直接耦合，且所述光纤排列成多边形的点阵，激光光源与光纤间设有透镜系统及调制开关，所述调制开关与计算机控制及图形系统电连接且受其控制，从而控制激光光源所发出的光束进入光纤的通断。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 功率 高速 无掩模 光刻 系统 | ||
【主权项】：
一种新型高功率高速无掩模光刻系统，包括计算机控制及图形系统、点阵图形发生器、能够带动感光基板移动的高精度的移动平台、移动控制系统、位置同步系统，其特征在于：所述点阵图形发生器包括多个激光光源及多根光纤，所述激光光源直接与对应的光纤直接耦合，且所述光纤排列成多边形的点阵，激光光源与光纤间设有透镜系统及调制开关，所述调制开关与计算机控制及图形系统电连接且受其控制，从而控制激光光源所发出的光束进入光纤的通断。
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