[发明专利]一种高效生产热解氮化硼制品的方法在审

专利信息
申请号: 201610523972.8 申请日: 2016-07-04
公开(公告)号: CN105970186A 公开(公告)日: 2016-09-28
发明(设计)人: 王彩华;刘汝强 申请(专利权)人: 山东国晶新材料有限公司
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44;C23C16/34;C23C16/26
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 杨磊
地址: 251200 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及一种高效生产热解氮化硼制品的方法,以NH3、BCl3为原料气,在制品模具表面热解生成氮化硼材料的过程中,交替热解沉积石墨涂层,使得热解氮化硼材料之间有热解石墨涂层,脱模并分离热解氮化硼材料,得热解氮化硼制品。本发明在热解氮化硼过程中创新性的引入热解石墨工艺,间隔执行热解氮化硼板材工艺和热解石墨工艺,由于热解氮化硼板材之间夹杂热解石墨,脱模后可以很好的分离,从而实现一次升降温生产过程,一块模具上沉积多块热解氮化硼板材,大大提高了热解氮化硼板材的生产效率,降低每块热解氮化硼板材的成本。
搜索关键词: 一种 高效 生产 氮化 制品 方法
【主权项】:
1.一种高效生产热解氮化硼制品的方法,包括步骤如下:以NH3、BCl3为原料气,在制品模具表面热解生成氮化硼材料的过程中,交替热解沉积石墨涂层,使得热解氮化硼材料之间有热解石墨涂层,脱模并分离热解氮化硼材料,得热解氮化硼制品。
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