[发明专利]一种摩擦力测量装置和方法有效
| 申请号： | 201610494144.6 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN106153218B | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 檀长兵 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N19/02 | 分类号： | G01N19/02;G01L1/00 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种摩擦力测量装置和方法，包括：上吸盘、下吸盘、真空泵和推拉力计。所述上吸盘吸附在待镀膜基板的上表面；所述下吸盘吸附在所述待镀膜基板的下表面；所述真空泵排净所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气；所述推拉力计在所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气被排净时，在外力作用下测量所述待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力数值大小。通过摩擦力测量装置既能够准确地得到待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力大小，又能够有效保证在测量待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力时待镀膜基板不被损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 摩擦力 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种摩擦力测量装置，其特征在于，包括：上吸盘、下吸盘、真空泵、推拉力计和真空度显示器，其中：所述上吸盘，用于吸附待镀膜基板的上表面；所述下吸盘，用于吸附所述待镀膜基板的下表面；所述真空泵，用于排净所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气；所述推拉力计，用于在所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与待镀膜基板的下表面之间的空气被排净时，在外力作用下对所述待镀膜基板施加推力或拉力，测量所述待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力数值大小；所述真空度显示器，用于监控所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的相对滑动，和/或所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的相对滑动。
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