[发明专利]一种导电薄膜的制备方法在审
申请号: | 201610464555.0 | 申请日: | 2016-06-24 |
公开(公告)号: | CN106024111A | 公开(公告)日: | 2016-10-12 |
发明(设计)人: | 何娟 | 申请(专利权)人: | 成都天航智虹企业管理咨询有限公司 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01B13/00 |
代理公司: | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人: | 苏丹 |
地址: | 610000 四川省成都市高新*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种导电薄膜的制备方法,属于导电薄膜生产技术领域。所述方法包括以下步骤A.沉积镍层:在玻璃基底上沉积1~3个镍原子厚的镍薄膜层;B.沉积石墨烯层:采用CVD法沉积石墨烯薄膜层,所述石墨烯薄膜层的厚度为50~100μm;C.清洗、干燥:将步骤B得到的半成品进行降温处理,待温度降至室温后,将石墨烯薄膜层进行清洗,去除表面镍薄膜层,然后进行干燥即可。本发明具有生产成本低,效率高的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 导电 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种导电薄膜的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:A.沉积镍层在玻璃基底上沉积1~3个镍原子厚的镍薄膜层;B.沉积石墨烯层采用CVD法沉积石墨烯薄膜层,所述石墨烯薄膜层的厚度为50~100μm;C.清洗、干燥将步骤B得到的半成品进行降温处理,待温度降至室温后,将石墨烯薄膜层进行清洗,去除表面镍薄膜层,然后进行干燥即可。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都天航智虹企业管理咨询有限公司,未经成都天航智虹企业管理咨询有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610464555.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。