[发明专利]一种气囊浮动密封门

摘要

本发明涉及晶圆制造技术领域，具体公开一种气囊浮动密封门。本发明的一种气囊浮动密封门，包括固定门、浮动门、气囊和连接部，固定门与浮动门平行放置，固定门下端与固定物体连接，使固定门固定；浮动门通过连接部与固定门连接；固定门与浮动门之间放置有气囊，气囊可以充气和放气，气囊充气推动浮动门关闭，气囊放气引导浮动门打开。本发明通过气囊、连接部与浮动门的配合，实现密封门的快速打开和关闭，结构简单、操作方便。

主权项

1.一种气囊浮动密封门，其特征在于，包括固定门、浮动门、气囊和连接部，所述固定门与所述浮动门平行放置，所述固定门下端与固定物体连接，使所述固定门固定；所述浮动门通过所述连接部与所述固定门连接；所述固定门与所述浮动门之间放置有所述气囊，所述气囊可以充气和放气，所述气囊充气推动所述浮动门关闭，所述气囊放气引导所述浮动门打开；/n所述连接部包括第一连接部和第二连接部，所述第一连接部一端与所述固定门固定连接，一端与所述浮动门滑动连接；所述第二连接部两端分别与所述固定门和所述浮动门固定连接；/n所述第一连接部包括螺栓和复位弹簧，所述螺栓包括螺杆和螺帽，所述复位弹簧套设在所述螺杆上，靠近所述螺帽一端，所述复位弹簧的直径小于所述螺帽的直径；/n所述浮动门设置有卡槽，所述卡槽底端有通孔，所述通孔直径略大于所述螺杆直径，所述螺杆穿过所述通孔与所述固定门固定连接，所述复位弹簧卡设在所述螺帽与所述卡槽形成的空间；/n所述第二连接部为弹簧片，所述弹簧片设置在所述固定门与所述浮动门之间，所述弹簧片两端通过螺栓分别与所述固定门和所述浮动门连接；/n所述浮动门设置有开口朝向所述固定门的槽，所述槽用于放置所述气囊。/n